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尼康发布CNC影像测量系统全新机型「NEXIV VMZ-S3020」

更新时间:2022-04-20      点击次数:2062

尼康发布CNC影像测量系统全新机型「NEXIV VMZ-S3020」

   适合车载电子、半导体零部件的NEXIV新系列

「NEXIV VMZ-S3020」
「NEXIV VMZ-S3020」

    尼康株式会社(社长:馬立 稔和、东京都港区 )之子公司,Nikon Solution株式会社(社长:園田 晴久、东京都品川区),针对电子、半导体等精密零部件开发了CNC影像测量系统全新「NEXIV VMZ-S」系列,第一弹发售「NEXIV VMZ-S3020」。

    CNC影像测量系统「NEXIV」是运用尼康*的光学技术和图像处理技术,可自动测量电子、半导体零部件的装置。通过图像分析与高速准确的边缘检测,对于复杂特殊形状的被检物品也能够快速地进行测量。此次发售的「NEXIV VMZ-S」系列产品不仅保持了以往机型「NEXIV VMZ-R」系列产品的精度,还实现了更高的产能。

    「NEXIV VMZ-S3020」将出展「JIMTOF 2020 Online」(2020年11月16日~12月11日)在线展会。

    另外,大尺寸载物台机型「NEXIV VMZ-S4540」以及「NEXIV VMZ-S6555」也在开发中,预计于2021年下半年依次发售。


发售概要

产品名CNC影像测量系统「NEXIV VMZ-S3020」
订单接受时间2020年11月12日

*开始发货时间为2021年1月。

 

开发的由来

    近年来,汽车行业在自动驾驶与电动汽车市场扩大的背景下,电气化极速发展,用于汽车的电子、半导体零部件不断增加。由于关乎生命安全,所以采用的零件也需要非常严格的品质管控,对测量设备的要求也随之提高。所以,尼康研发并推出了适合于车载电子、半导体零部件等测量用途的CNC影像测量系统「NEXIV VMZ-S」系列。

 

主要特长

1.高产能
    「NEXIV VMZ-S3020」在高精度线性光栅尺和精密载物台提供高精度测量的同时,通过载物台移动和图像处理的高速化,与以往机型「NEXIV VMZ-R」系列产品相比实现了更高的产能。保证了客户*的精度和再现性,缩短了测量时间。

2.高品质图像,高精度测量
    通过无失真的高品质图像,即使不在视场中心附近也能得到可靠的测量结果。另外,根据被检测物品的形状通过同轴表面光、底部透射光、8个扇面环形光的选择与光量・照射方向的调整,可以敏锐的捕捉到难以检测的边缘。而且,通过1000点/秒的高速激光扫描,可以取得样品的截面形状,也可以对应高度方向的形状评价。满足各种各样零部件的测量需求。

3. 非凡的实用性
    通过系列产品通用的尺寸测量软件「NEXIV AutoMeasure」,可以畅快有效地进行尺寸测量。另外,以简单形状为对象,增加了将测量程序制作工序的一部分自动化的功能。

    而且,为了满足使用NEXIV系列顾客的要求,用于操控载物台和测量头移动的操纵杆单元,运用了更易操作的设计。

 

主要规格


量程
(X × Y × Z)
300 × 200 × 200 mm(TZ型 使用低倍物镜时:250 × 200 × 200 mm)
最小读数0.01 μm
最大承载重量20 kg(保证精度的载重:5 kg)
测量精度
(L为测量长度(㎜))
EUX,MPE, EUY,MPE(X轴、Y轴精度):1.2 + 4L/1000 μm
EUXY,MPE (XY轴精度):2.0 + 4L/1000 μm
EUZ,MPE (Z轴精度) :1.2 + 5L/1000 μm
相机黑白/彩色 1/3英寸CMOS
变焦镜头型号
* (倍率・视场)
・1型: (0.5~7.5x ・ 9.33 x 7 ~ 0.622 x 0.467 mm)
・2型: (1~15x  ・ 4.67 x 3.5 ~ 0.311 x 0.233 mm)
・3型: (2~30x  ・ 2.33 x 1.75 ~ 0.155 x 0.117 mm)
・4型: (4~60x   ・ 1.17 x 0.88 ~ 0.078 x 0.058 mm)
・TZ型 :(1~120x ・ 4.67 x 3.5 ~ 0.039 x 0.029 mm)
・A型: (0.35~3.5x ・ 13.3 x 10 ~ 1.33 x 1 mm)
自动对焦激光自动对焦(A型是选配)、图像自动对焦
灯光*・1~4型: 同轴表面光、底部透射光、8个扇面的环形光
(全部采用白色LED光源/1, 2, 3型3种角度、4型1种角度)
・TZ型: 同轴表面光、底部光(VMZ-S3020的低倍除外)、暗场照明
・A型: 同轴表面光、底部光、8个扇面的环形光 (全部采用白色LED光源/1种角度)
电源规格 / 额定电流AC100-240V、50/60Hz / 4A – 2A
尺寸 (W×D×H/重量)本体+底座: 700 × 730 × 1793 mm / 约265 kg
控制箱: 190 × 450 × 450 mm / 约12 kg
占地大小(W×D)2700 × 2400 mm


*根据应用的不同,有6种镜头型号可供选择。不同型号镜头所配备的灯光照明系统也会有所不同。


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