尼康公司发布晶圆自动测量系统 NEXIV VMZ-NWL 200

尼康株式会社的工业计量业务部门近期发布了自动晶圆测量系统NEXIV VMZ-NWL 200，以解决半导体后端工艺中晶圆计量的挑战，传统上手动执行的工作多于前端过程控制。因此，NEXIV VMZ-NWL 200 的主要目标市场是以后端半导体制造工艺为中心的测量。

NEXIV VMZ-NWL 200 缓解了手动测量熟练技术人员的短缺。半导体行业沿着小型化的道路发展，这提高了测量所需的技能水平，并减少了可用的工程师数量。另一方面，半导体市场继续扩大，因此越来越多的计量机会被提供给越来越少的人。因此，使用传统光学显微镜的手动测量已达到极限。

NEXIV VMZ-NWL 200 是一种根据测量程序自动测量载体中保存的 6 英寸或 8 英寸晶圆的系统。NEXIV的可靠性和使用NWL的稳定晶圆加载确保了测量的高重复性。该系统允许使用专用软件直观地选择要测量的芯片。因此，任何人都可以以高度的可靠性获得所需的芯片测量结果。此外，还可以跟踪测量的时间和程序，有助于提高可追溯性。

该系统在设计时考虑到了安全性，并提供了保护盖，以防止因操作员错误而造成的损坏。操作符合 SEMI 国际标准 S2、S8 和 F47。

关于尼康计量
尼康基于公司 100 多年历史中积累的先进光电子和精密技术，在全球范围内提供各种产品、服务和解决方案。该集团继续创造新的价值，以各种形式为提高生活质量和制造业做出贡献。尼康的工业计量业务部 （IMBU） 提供集成、优化的超高精度解决方案，这些解决方案不仅具有定制性和成本效益，而且在实施后立即运行良好。在尼康数字制造旗下的最新发展是IMBU与公司数字解决方案业务部门（DSBU）之间更紧密的合作，该部门推出了一系列光学增材和减材制造解决方案，用于加工各种亚微米表面光洁度的材料。